Seramik SiC

Seramik SiC semakin banyak digunakan dalam peralatan semikonduktor, terutamanya kerana ia tahan lebih baik dalam keadaan yang lebih sukar. Apabila suhu menjadi tinggi atau proses menjadi lebih agresif, bahan seperti kuarza atau silikon boleh mula menunjukkan had, dan di situlah SiC biasanya digunakan. Dalam proses relau seperti pengoksidaan atau resapan, bahagian seperti bot wafer atau dayung yang diperbuat daripada SiC cenderung tahan lebih lama. Ia mengekalkan bentuknya dan tidak membawa banyak pencemaran, walaupun selepas penggunaan yang lama. Orang ramai sering beralih daripada kuarza atas sebab ini, terutamanya apabila penyelenggaraan menjadi terlalu kerap.

Untuk pengetsaan, SiC sering dipilih hanya kerana ia tahan lebih lama daripada plasma. Perbezaan jangka hayat berbanding bahagian silikon adalah ketara dalam banyak persediaan, walaupun ia masih bergantung pada proses yang tepat. Ia juga sedikit sebanyak membantu dengan kawalan zarah, yang menjadi lebih sensitif apabila nod mengecut. Anda juga akan melihat SiC digunakan sebagai suseptor dalam MOCVD atau CVD. Dalam kes tersebut, ia kurang mengenai "kekuatan" dan lebih kepada mengekalkan kestabilan tingkah laku suhu. Di luar itu, ia muncul dalam bahagian ruang seperti pelapik atau kepala pancuran, dan kadangkala dalam pengendalian komponen juga.