EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Wafer Piezoelektrik PZT
Dengan pertumbuhan pesat komunikasi 5G, perubatan jitu dan peranti boleh pakai pintar, permintaan pasaran untuk transduser MEMS berkuasa rendah dan sensitiviti tinggi semakin meningkat. Wafer piezoelektrik kami (PZT pada Si/SOI) menggunakan proses pemendapan filem nipis termaju untuk mencapai keseragaman yang luar biasa dan sifat piezoelektrik yang unggul pada substrat silikon, berfungsi sebagai teras asas untuk penukaran tenaga elektro-mekanikal yang cekap.
Penerangan Produk
Perkhidmatan Tersuai
Selain menawarkan wafer PZT 8 inci yang standard, kami menyediakan keupayaan penyesuaian yang meluas yang disesuaikan dengan keperluan khusus pelanggan kami:
● Kepelbagaian Substrat: Kami menyokong pemendapan pada kedua-dua wafer Si dan wafer SOI (dengan kerintangan > 5000 ohm/cm).
● Penyesuaian Filem Nipis: Jenis dan ketebalan filem nipis tertentu boleh dilaraskan untuk memenuhi spesifikasi reka bentuk.
● Saiz Fleksibel: Kami menawarkan keupayaan pemprosesan untuk format wafer 6 inci dan 8 inci.
● Wafer yang Dibekalkan Pelanggan: Kami menerima substrat yang disediakan pelanggan untuk pertumbuhan filem nipis piezoelektrik.
Rakan Teknikal Anda: Kami komited untuk menyediakan sokongan komprehensif—daripada pertumbuhan bahan hingga penyesuaian struktur. Sama ada anda berada dalam fasa R&D makmal atau pada peringkat pengeluaran besar-besaran, pasukan teknikal kami bersedia untuk menyediakan penyelesaian piezoelektrik yang paling sesuai dengan keperluan anda.
spesifikasi
Produk standard kami dihasilkan menggunakan proses 6 inci dan 8 inci, yang menampilkan reka bentuk struktur berbilang lapisan yang canggih yang memastikan prestasi yang stabil sepanjang aliran kerja fabrikasi MEMS yang kompleks.
Parameter Struktur Lapisan (Standard 8 inci)
| Layer | Ketebalan | Nota |
| Elektrod Atas | disesuaikan | Elektrod Atas |
| Lapisan Piezo | disesuaikan | Lapisan Piezoelektrik Teras |
| Lapisan Penampan | disesuaikan | Lapisan Kawalan Orientasi Bijirin |
| Elektrod Bawah | 100 nm ± 10% | Elektrod Bawah |
| Lapisan Lekatan | disesuaikan | Lapisan Lekatan |
| Substrat | disesuaikan | Pilihan 4/6/8 inci Tersedia |
Petunjuk Prestasi Utama (Ciri-ciri)
● Pemalar Piezoelektrik (d31): 200 pC/N — Memastikan output anjakan mekanikal yang sangat cekap.
● Pekali Piezoelektrik (e31): −15 C/m² — Memberikan tindak balas cas elektrik yang sangat sensitif.
● Keseragaman Tinggi: Disahkan melalui analisis pembelauan XRD, filem PZT mempamerkan orientasi (100) yang kuat, memastikan keseragaman prestasi yang luar biasa merentasi keseluruhan wafer.
| Ciri-ciri PZT | PZT Polikristal |
| Pemalar piezoelektrik d31 | 200 pC/N |
| pekali piezoelektrik e31 | -14 C/m² |
| Suhu kari | X ℃ |
Imej SEM dan XRD
Aplikasi
Lima Bidang Aplikasi Utama
1. Transduser Ultrasonik Piezoelektrik (pMUT)
Memanfaatkan pemalar piezoelektrik tinggi filem nipis PZT untuk menghasilkan tatasusunan ultrasonik mini berfrekuensi tinggi. Digunakan secara meluas dalam pengecaman cap jari bawah paparan, pengesanan gerak isyarat dan sistem radar ultrasonik automotif.
2. Penapis & Komunikasi RF (RF MEMS)
Dalam sistem komunikasi 5G dan 6G, bahan piezoelektrik berprestasi tinggi adalah penting untuk pembuatan penapis FBAR dan SAW, membolehkan lebar jalur yang lebih luas dan kehilangan sisipan yang lebih rendah.
3. MEMS Akustik (Pembesar Suara/Mikrofon)
Memperkasakan pembesar suara MEMS dengan tindak balas sementara dan Tahap Tekanan Bunyi (SPL) yang unggul, sambil meningkatkan Nisbah Isyarat-ke-Bunyi (SNR) mikrofon MEMS untuk membolehkan rakaman audio definisi tinggi.
4. Kawalan Bendalir Ketepatan (Kepala Cetakan Inkjet)
Menggunakan getaran berkelajuan tinggi dalam mod d31 untuk mencapai ketepatan tahap nanoliter dalam kawalan isipadu titisan dakwat; berfungsi sebagai komponen penggerak teras untuk sistem percetakan inkjet resolusi tinggi gred perindustrian.
5. Estetika Perubatan & Pam Mikro
Memacu nebulizer perubatan dan pam ultrasonik estetik. Memanfaatkan saiz padat dan kebolehpercayaan filem nipis PZT yang tinggi, kami membolehkan pengabusan yang cekap dan penghantaran ubat cecair yang tepat.
